实现了通用型圆筒研磨盘加工精度的约1/10的0.1μm水准的圆形平面精度,平面精度。
搭载了30,000rpm,80,000rpm的研磨主轴2座,并且也搭载了与之相对应的内置装置2座。

机里面的形状研磨装置使用成形的砥石,能够连续加工园的内·外径部的直线·锥度·R部,并且加工精度非常高。
另外,加工形状,加工尺寸不用从卡盘中取出工件,而是利用机内的计测装置,能够测量,自动补正,进行再加工。

X,Z车轴的最小指令单位是10纳米(全部闭环控制)。
工作主轴,砥石主轴同时是高精度陶瓷轴承,实现了高刚性以及高旋转精度。
标准附属的恒温装置,滑套装置和主轴等各部分实施特殊热对策,确保了热稳定性。